Durch Diamantbearbeitungsverfahren lassen sich beispielweise optische Freiformflächen und Asphären herstellen oder auch mikrostrukturierte Optikbauteile wie Mikrolinsenarrays, Fresnellinsen oder diffraktive Elemente. Präzisionsschleifverfahren und Poliertechnologien wiederum erschließen die Bearbeitung weiterer Werkstoffklassen, z.B. die Herstellung optischer Formeinsätze oder Linsen aus spröd-harten Materialien. Die Entwicklung spezieller Fertigungsverfahren einschließlich ihrer Peripherie steht hierbei im Vordergrund. Die Mikrobearbeitungsverfahren spielen eine zentrale Rolle für die Herstellung und Strukturierung von Formwerkzeugen für die Mikro‑ und Präzisionsumformtechnik und anderer, tribologisch hochbelasteter Bauteile. Die hochgenaue Zerspanung medizintechnischer Werkstoffe, wie z.B. Implantatkeramik, erschließt sich ebenfalls durch die Technologien der Mikrozerspanung.
Für die Forschungsarbeiten stehen im LFM verschiedene mehrachsige Ultrapräzisions-Werkzeugmaschinen zur Bauteilbearbeitung in einem 300qm großen klimatisierten Werkstattbereich zur Verfügung. Fester Bestandteil der Aktivitäten ist auch die hochgenaue Fertigungsmesstechnik. Die Analyse von Prozessgrößen wie Bearbeitungskräften oder Körperschallemission wird in Kombination mit der Bauteilcharakterisierung zur Prozessentwicklung eingesetzt. Zur Bewertung der bearbeiteten Oberflächen stehen verschiedenste hochauflösenden Messgeräte zur Form‑ und Oberflächenbewertung und Werkcharakterisierung bereit. Diese reichen von der Rasterkraftmikroskopie über die Weißlichtinterferometie und Konfokalmikroskopie bis zur Koordinatenmesstechnik, Asphärenprofilometrie und Interferometrie.