Laborausstattung

Zur Durchführung der Beschichtungsaufgaben stehen folgende Geräte zur Verfügung:

• Thermische CVD- Anlage für Hoch- und Mitteltemperaturbeschichtungen,
• plasmaunterstützte CVD- Anlagen mit Gleichstrom-, gepulster Gleichstrom- und Hochfrequenzanregung,
• plasmaunterstützte Hochvakuuumapparatur für thermochemische Randschichtbehandlungen,
• Ionenimplantationsanlage mit zusätzlicher Option zur ionenstrahlunterstützten Abscheidung.

Für die Prozeßkontrolle dienen folgende Geräte:

• Massenspektrometer,
• Optisches Emissionsspektrometer,
• Plasmamonitor.

Zur Erfassung der Gebrauchseigenschaften können folgende Geräte verwendet werden:

• Ritztest,
• Verschleißtests (Stift- Scheibe, Schleifteller, Faville),
• Ultramikrohärtetester.

Zur Erfassung der chemischen Zusammensetzung stehen neben Möglichkeiten zur naßchemischen Analyse zur Verfügung:

• Atomabsorptionsspektrometer (AAS),
• Elektronenspektrometer (ESCA, AES).